產品簡介

UNIXX HTp20型熱板是一款手動桌面型烘焙系統，采用手動PID控制器和定時器開關可確保高的溫度控制精度。用于晶圓的單面烘烤，可用于預烘烤（Pre-bake），前烘（soft bake），底膠涂覆（Primer Vapor）和后烘烤(hardbake堅膜)工藝。

產品特色

÷ 加熱板模塊（最高可達 300°C）

÷ 氣動驅動支撐pin升降

÷ 支撐pin材料：不銹鋼，尖端采用 PEEK （最高 250°C）

÷ 熱板通過真空固定晶圓

÷ 集成排煙裝置

÷ 熱板蓋手動控制

÷ 集成1x PID 控制器，用于在高測量時進行溫度控制

÷ 集成1x 定時器開關

技術數據

÷ 襯底尺寸: 最大可達 ?200 mm (? 8”) 或 200 x 200 mm (8 x 8 inch)

÷ 溫度區間: 最大可達 300°C*, 以 1°C 步進可調

÷ 溫度精度: 100°C 時 < ±1°C

÷ 提升銷（一套）: ?50 mm (?2”) 最大可達 ?200 mm(?8”) 或 200 x 200mm (8 x 8 inch)

÷ 熱板表面: 由硬質陽極氧化鋁制成

÷ 加熱板蓋: 由微拋光不銹鋼制成

÷ 控制器單元: 1x PID控制器, 1x 時間開關

÷ Pin頂部 采用PEEK 材料最高溫度 250°C

可選項

÷ 支撐pin材料

÷ 邊緣支撐pin

÷ N2吹掃

÷ HMDS 熱板系統（六甲基二硅胺底膠蒸汽涂覆）

÷ 烘焙距離可調模組

÷ 真空泵